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    無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司

    手機(jī):13961627187

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    HORIBA質(zhì)量流量計(jì)
    海南代理日本HORIBA流量計(jì)公司官網(wǎng)
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    • 產(chǎn)品分類(lèi):HORIBA質(zhì)量流量計(jì)
    • 展開(kāi)更多評(píng)論2025-3-14 9:50:46
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    日本HORIBA流量計(jì)特征
    高精度:設(shè)定流量值±1.0%.
    MFC的線(xiàn)性精度是由多項(xiàng)式近似曲線(xiàn)進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類(lèi)的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng), 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
    高速響應(yīng)
    SEC-Z500X 使用了開(kāi)發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個(gè)設(shè)定流量點(diǎn)之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時(shí),PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動(dòng)的調(diào)整,即使在氣體種類(lèi)和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動(dòng)優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)。
    復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
    HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶(hù)輕松地在現(xiàn)場(chǎng)更改氣體種類(lèi)和流量成為現(xiàn)實(shí). 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡(jiǎn)單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來(lái)。 如此一來(lái),就可以很大程度上減少客戶(hù)備品的數(shù)量,同時(shí)節(jié)省了時(shí)間和成本。


    日本HORIBA流量計(jì)其它型號(hào)

    SEC- (質(zhì)量流量控制器)

    E40/E40MK3

    E50/E50MK3

    SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

    E40

    E50

    適用氣體種類(lèi)*1

    非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

    氣體接觸部材質(zhì)

    SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

    閥門(mén)型號(hào)

    非通電時(shí)?關(guān)閉

    標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

    10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

    20/30 SLM

    流量控制范圍
    (適于SEC系列)

    2? F.S.

    流量測(cè)量范圍
    (適于SEF系列)

    0? F.S.

    響應(yīng)速度

    1秒以?xún)?nèi)(T98)

    流量精度

    ±1% F.S.

    直線(xiàn)性

    ±0.5% F.S.

    反復(fù)性

    ±0.2% F.S.

    工作差壓值值
    (適于SEC系列)

    10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

    使用壓力
    (適于SEF系列)

    300kPa(G)以下

    耐?壓

    1MPa(G)以下

    外部泄漏率

    1×10-8Pa?m3/s(He)以下

    使用環(huán)境溫度

    5?50℃(精度的確保:15?35℃)

    流量設(shè)定信號(hào)

    0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.

    流量輸出信號(hào)

    0?5VDC(負(fù)荷電阻2kΩ)

    驅(qū)動(dòng)電源

    +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

    +15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

    標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

    1/4SWL 類(lèi)型

    HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號(hào)。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場(chǎng)份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號(hào)。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。

    無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專(zhuān)業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷(xiāo)售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商。

    質(zhì)量流量控制事業(yè)部專(zhuān)業(yè)從事銷(xiāo)售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時(shí)經(jīng)銷(xiāo)真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀(guān)光潔如新,性能可靠,原廠(chǎng)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

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