上海供應日本HORIBA流量計修理

EC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設定不同流量時，PID數(shù)據(jù)將進行自動的調(diào)整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化，實現(xiàn)高速響應。 復合氣體、復合流量方案 HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時節(jié)省了時間和成本。

日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計

型號;

?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內(nèi)的高速響應（1秒內(nèi)）

簡化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器，傳感器，過濾器

穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設計 - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）

輕巧的尺寸

50SLM內(nèi)相同的配件尺寸

信號兼容

模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式

數(shù)字信號控制

? HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產(chǎn)品以控制氣體供應系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數(shù)字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩(wěn)定工作，反應源液罐體后端控壓以罐內(nèi)壓力穩(wěn)定在范圍。這些器件的研發(fā)及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。? ? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產(chǎn)品概要：

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經(jīng)銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。