美國BROOKS流量計-高純度和超高純度壓力開關(guān)和變送器
挑戰(zhàn)：尋找經(jīng)濟(jì)有效的方法來更好地管理壓力
為了改進(jìn)對過程氣體壓力的控制，需要在整個氣體輸送系統(tǒng)的關(guān)鍵點(diǎn)進(jìn)行精確測量，而不僅僅是在 MFC 的任一側(cè)。如果壓力偏離設(shè)定值，關(guān)鍵管道接頭或隔離點(diǎn)可能存在危險的泄漏或堵塞。
解決方案：久經(jīng)考驗的 Brooks Instrument 壓力開關(guān)和變送器
Brooks Instrument 將卓越的多功能性與全球半導(dǎo)體和工業(yè)生產(chǎn)設(shè)施中經(jīng)過驗證的、具有成本效益的功能相結(jié)合，提供范圍廣泛的壓力表、壓力開關(guān)和變送器，這些壓力表、壓力開關(guān)和變送器采用經(jīng)久耐用的設(shè)計和精選材料，可在高純度半導(dǎo)體氣體中提供可靠和準(zhǔn)確的性能交付流程。
產(chǎn)品
122系列壓力表
122 系列壓力開關(guān)和變送器